項目信息
項目名稱
中國專利獎
企業(yè)名稱
中微半導(dǎo)體設(shè)備(上海)股份有限公司
公示時間
項目級別
部委
組織部門
國家知識產(chǎn)權(quán)局
年份
2014
課題名稱
一種等離子體處理裝置及其處理方法
證書編號
ZL201010106570.0
資助金額
-
申報批次
第十六批
人員名稱
倪圖強
數(shù)據(jù)來源
關(guān)于第十六屆中國專利獎授獎的決定
來源鏈接
http://www.aimeiren.net.cn/news/19270.html