項(xiàng)目信息
項(xiàng)目名稱
中國(guó)專利獎(jiǎng)
企業(yè)名稱
清華大學(xué)
公示時(shí)間
項(xiàng)目級(jí)別
部委
組織部門
國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局
年份
2018
課題名稱
采用氣浮平面電機(jī)的硅片臺(tái)雙臺(tái)交換系統(tǒng)
證書編號(hào)
ZL200910172949.9
資助金額
-
申報(bào)批次
第二十批
人員名稱
朱煜,張鳴,汪勁松, 閔偉,尹文生,胡金春,徐登峰,楊開明,段廣洪,田麗,許巖
數(shù)據(jù)來源
國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局關(guān)于第二十屆中國(guó)專利獎(jiǎng)授獎(jiǎng)的決定
來源鏈接
http://www.aimeiren.net.cn/news/19270.html