項目申報信息
| 項目名稱 | 證書編號 | 公示時間 | 課題名稱 | 補貼金額 | 備注 |
|---|---|---|---|---|---|
| 高新技術企業(yè) | GR202331006593 |  |
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| 中國專利獎 | ZL201910364335.4 | |
一種激光退火裝置 | - | 查看詳情 |
| 高新技術企業(yè) | GR202031003962 | |
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| 高新技術企業(yè) | GR201431001577 | |
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| 中國專利獎 | ZL201110241791.3 | |
一種步進光刻設備及光刻曝光方法 | - | 查看詳情 |
| 國家級制造業(yè)單項冠軍產品 | - | |
SSB300系列光刻機 | - | 查看詳情 |
| 中國專利獎 | ZL201310747393.8 | |
一種調焦調平裝置 | - | 查看詳情 |
| 中國專利獎 | ZL201410857409.5 | |
一種硅片邊緣保護裝置 | - | 查看詳情 |
| 中國專利獎 | ZL201520269105.117 | |
一種投影物鏡系統(tǒng) | - | 查看詳情 |
| 中國專利獎 | ZL201010619055.2 | |
一種背面對準裝置及方法 | - | 查看詳情 |
| 中國專利獎 | ZL201110053278.1 | |
分體式氣足 | - | 查看詳情 |
| 國家技術創(chuàng)新示范企業(yè) | - | |
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| 國家級企業(yè)技術中心 | - | |
技術中心 | - | 查看詳情 |
| 中國專利獎 | ZL201010619283.X | |
一種大視場投影光刻物鏡 | - | 查看詳情 |