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權(quán)利要求
1.一種高抗拉高氣密性的陶瓷-金屬蝶形封裝連接器的制備方法，其特征在于：包括以下步驟：
S1,復(fù)相陶瓷絕緣子(1)內(nèi)外表面金屬化：
S1-1，表面清洗及準(zhǔn)備；
S1-2，涂金屬膏；
S1-3，氫爐燒結(jié)定型；
S1-4，鍍鎳；
S2，裝配；
S3，釬焊封裝：
S3-1，真空管式爐燒結(jié)預(yù)處理；
S3-2，真空管式爐燒結(jié)；
S3-3，冷卻。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高抗拉高氣密性的陶瓷-金屬蝶形封裝連接器的制備方法，其特征在于，所述S1-1中，所述表面清洗及準(zhǔn)備的具體方法為：
首先將復(fù)相陶瓷絕緣子(1)用洗凈劑超聲處理后，使用流水沖洗；然后用去離子水煮沸兩次，每次15min，烘干后備用；清洗烘干后的復(fù)相陶瓷絕緣子(1)應(yīng)立即進(jìn)入下一個(gè)工序或放入干燥器內(nèi)保存，備用；
所述S1-2中所述涂金屬膏的具體方法為：
所述金屬膏為將質(zhì)量百分比濃度為44.0-46.0％Mo、18.1-18.4％MnO、20.0-21.0％Al2O3、12.0-12.3％SiO2、2.0-2.5％CaO、1.0-1.3％MgO、0.5-0.7％Fe2O3混合均勻的金屬粉，通過有機(jī)粘結(jié)劑調(diào)成具有粘度的金屬膏，最后將金屬膏涂敷在復(fù)相陶瓷絕緣子(1)內(nèi)外表面上，涂層厚度為60-70微米；所述有機(jī)粘結(jié)劑為高固硝棉溶液；
所述S1-3中所述氫爐燒結(jié)定型的具體方法為：
將涂好金屬膏的復(fù)相陶瓷絕緣子(1)裝入氫爐中進(jìn)行燒結(jié)定型；在氫氣爐中以1450-1550℃下燒結(jié)，保溫時(shí)間為60-70min；為防止在升溫過程中MoO3揮發(fā)和金屬化表層金屬被氧化，在1000℃以上時(shí)，金屬化氣氛用N2、H2混合氣和水氣；水氣的氣體露點(diǎn)控制在0-30℃；在1000℃以下時(shí)，金屬化氣氛用N2、H2混合氣和含微量氧化氣體；所述含微量氧化氣體為空氣；空氣占總氣體量的0.25％-1％；
所述S1-4中所述鍍鎳的具體方法為：
在燒結(jié)定型后的復(fù)相陶瓷絕緣子(1)金屬化層上電鍍4-5微米的鎳層。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高抗拉高氣密性的陶瓷-金屬蝶形封裝連接器的制備方法，其特征在于，所述S2中，所述裝配的具體方法為：
2-1、對復(fù)相陶瓷絕緣子(1)及母材(2)表面進(jìn)行等離子處理，去除表面殘留的灰塵雜質(zhì)；
2-2、將復(fù)相陶瓷絕緣子(1)放置與母材(2)中；固定復(fù)相陶瓷絕緣子(1)的位置后放入焊料片A(3)及焊料片B(4)；焊料片A(3)放置于母材(2)上的圓形凹槽里，焊料片B(4)放置于復(fù)相陶瓷絕緣子(1)表面的圓形凹槽里；在固定完之后將整體放入石墨模具A(6)中，將兩邊的芯柱(5)導(dǎo)線穿過復(fù)相陶瓷絕緣子(1)以及石墨模具B(7)上留有的定位孔；最后將石墨模具B(7)放于對立芯柱(5)之間；
2-3、將工裝之后的整體放入真空管式爐進(jìn)行下一步燒結(jié)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高抗拉高氣密性的陶瓷-金屬蝶形封裝連接器的制備方法，其特征在于，所述S3-1中，所述真空管式爐燒結(jié)預(yù)處理的具體方法為：
真空管式爐燒結(jié)前采用真空預(yù)處理：通過電泵抽取管式爐的管內(nèi)空氣，當(dāng)管內(nèi)壓強(qiáng)不再變化后，打開減壓器閥門將氮?dú)鉀_入真空管式爐內(nèi)，真空管式爐內(nèi)壓強(qiáng)為正壓后再打開電泵抽真空；持續(xù)三次，最后一次拔掉電泵上的管道放置于水中，持續(xù)通氮?dú)猓?br />所述S3-2中，所述真空管式爐燒結(jié)的具體方法為：
以10℃/min的升溫速率對真空管式爐體進(jìn)行加熱，在790℃時(shí)進(jìn)行保溫20-40min，之后以5℃/min的升溫速率升至釬焊溫度850℃-920℃，在850℃-920℃保溫30min-90min；
所述S3-3中，所述冷卻的具體方法為：
保溫結(jié)束后以5℃/min冷卻速率降溫至400-500℃，保溫30min，之后以10℃/min冷卻至室溫最后取出封接件。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的高抗拉高氣密性的陶瓷-金屬蝶形封裝連接器的制備方法，其特征在于，所述復(fù)相陶瓷絕緣子(1)為熱壓燒結(jié)的Al2O3/TiC；所述鎳層需在氫爐中經(jīng)過1000℃、15-20min預(yù)燒結(jié)；復(fù)相陶瓷絕緣子(1)鍍鎳后公差±0.03；所述洗凈劑為乙酸。
6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的高抗拉高氣密性的陶瓷-金屬蝶形封裝連接器的制備方法，其特征在于，所述焊料片A(3)及焊料片B(4)為Ag72Cu80共晶焊片，所述母材(2)為碳鋼金屬，所述芯柱(5)為無氧銅；所述母材(2)及芯柱(5)均做鍍金處理，厚度為1-5μm；所述芯柱(5)與所述復(fù)相陶瓷絕緣子(1)內(nèi)壁留有10-20μm的釬焊縫隙，所述復(fù)相陶瓷絕緣子(1)與所述母材(2)之間也留有10-20μm的釬焊縫隙。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的高抗拉高氣密性的陶瓷-金屬蝶形封裝連接器的制備方法，其特征在于，所述釬焊縫隙的釬料填縫方法為毛細(xì)作用吸入。
8.根據(jù)權(quán)利要求2所述的高抗拉高氣密性的陶瓷-金屬蝶形封裝連接器的制備方法，其特征在于，所述高固硝棉溶液為質(zhì)量百分比濃度硝化棉25-60％，環(huán)氧樹脂0-10％，酯類溶劑15-45％，醇類溶劑10-45％；其中每100g金屬粉添加的高固硝棉溶液為70ml。
9.根據(jù)權(quán)利要求4所述的高抗拉高氣密性的陶瓷-金屬蝶形封裝連接器的制備方法，其特征在于，所述真空管式爐內(nèi)為無氧環(huán)境。